ATO靶材即為氧化錫銻靶材,以氧化錫為主,摻雜氧化銻,是一種N型半導體材料,是近年來發(fā)展起來的一種新型透明導電氧化物材料,具有禁帶寬度大(≥3.6eV)、導電性好、可見光透過率高、抗輻射、熱穩(wěn)定性好等優(yōu)異性能。AZO靶材的燒結通常采用放電等離子體燒結法(SPS),尺寸及比例根據(jù)客戶要求定制。

純度:99.99%;常用比例:SnO2:Sb2O3=90:10(wt%)、SnO2:Sb2O3=95:5(wt%)。
應用領域:平板顯示器、太陽能電池、其它光電材料領域。

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